在半導體工藝進入7nm節點之后,EUV光刻機成了關鍵裝備,現在只有ASML一家能夠生產EUV光刻機,主要客戶也只有三家——臺積電、Intel及三星。
由于供不應求,EUV光刻機也成為三家廠商爭奪的焦點,不過Intel的7nm工藝要到2022年,所以現在有EUV生產線的主要是臺積電、三星兩家。
在這場競賽中,臺積電的EUV光刻機數量遙遙領先,據統計,ASML近年來一共量產了100臺左右的EUV光刻機,其中供應給臺積電的就有70臺,占了絕大多數份額,多數都是在最近一年中交付的。
三星集團的掌門人李在镕去年專門拜訪了ASML公司,希望獲得更多的EUV光刻機供應,但縮短與臺積電的差距依然需要很多努力。
對三星來說,盡管EUV光刻機售價超過1億歐元,但三星并非買不起,與臺積電在EUV光刻機上的差距并非資本投資決定的,而是臺積電拉攏到了客戶,包括蘋果、AMD以及之前的華為,這是臺積電擴充EUV生產線的關鍵。
相比之下,三星的EUV工藝客戶太少,除了自家的Exynos芯片之外,主要就是高通了,NVIDIA、IBM雖然也找三星代工了,但還沒有使用EUV生產線。

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