本月初,全球最大的光刻機生產商ASML在德國的工廠發生火災,引發半導體行業擔心。臺積電作為ASML光刻機的最大客戶也回應了此事,他們表示不擔心會對2022年生產有什么影響。
在日前的財報會上,臺積電高層回應了ASML工廠火災的問題,稱沒有理由擔心這場火災會對2022年的生產計劃產生影響。
臺積電強調,該公司的產能增長,包括EUV光刻在內的工藝都可以按計劃完成,不擔心ASML的履約能力。
目前臺積電的7nm及以下工藝產能都需要EUV光刻機,根據財報透露的信息,在第四季度,臺積電7nm制程芯片的出貨量占到了總晶圓出貨量的27%,而5nm制程芯片占比則為23%。
至于ASML,根據他們之前的信息,雖然評估是否影響今年的光刻機交貨還有點早,但這次事件影響的主要是EUV光刻機生產,DUV光刻機不受影響。
EUV光刻機是生產7nm以下工藝的關鍵設備,ASML是全球唯一的EUV光刻機供應商,每臺售價1億歐元,將近10億人民幣,去年交付了35臺EUV光刻機,今年計劃交付55臺EUV光刻機,三星、臺積電及Intel是主要的客戶。

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